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強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価

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強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650348
国立国会図書館書誌ID
000007076882
資料種別
図書
著者
丹生, 博彦, 姫路工業大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キョウ ユウデンタイ ゲートトランジスタ ノ カイハツ ニ ムケテ ノ カイメン ノ カイリョウ ト デンシテキ トクセイ ヒョウカ
著者・編者
丹生, 博彦, 姫路工業大学
著者標目
丹生, 博彦 ニウ, ヒロヒコ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
強誘電体ゲートFET キヨウユウデンタイゲートFET
MFIS構造 MFISコウゾウ
PZT薄膜 PZTハクマク
Al2O3薄膜 AL2O3ハクマク
MFS型デバイス MFSガタデバイス
強誘電性のAFM観察 キヨウユウデンセイノAFMカンサツ