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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キョウ ユウデンタイ ゲートトランジスタ ノ カイハツ ニ ムケテ ノ カイメン ノ カイリョウ ト デンシテキ トクセイ ヒョウカ
- 著者・編者
- 丹生, 博彦, 姫路工業大学
- 著者標目
- 丹生, 博彦 ニウ, ヒロヒコ
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年(W3CDTF)
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 強誘電体ゲートFET キヨウユウデンタイゲートFETMFIS構造 MFISコウゾウPZT薄膜 PZTハクマクAl2O3薄膜 AL2O3ハクマクMFS型デバイス MFSガタデバイス強誘電性のAFM観察 キヨウユウデンセイノAFMカンサツ