強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価

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Material Type: 図書
Title: 強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価
Title Transcription: キョウユウデンタイゲートトランジスタノカイハツニムケテノカイメンノカイリョウトデンシテキトクセイヒョウカ
Author/Editor: 丹生, 博彦, 姫路工業大学
Author Heading: 丹生, 博彦ニウ, ヒロヒコ
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 強誘電体ゲートFET キヨウユウデンタイゲートFET
MFIS構造 MFISコウゾウ
PZT薄膜 PZTハクマク
Al2O3薄膜 AL2O3ハクマク
MFS型デバイス MFSガタデバイス
強誘電性のAFM観察キヨウユウデンセイノAFMカンサツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650348
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650348
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076882
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076882
Bibliographic Record Category (NDL): 214