次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究
• タイトルよみ: ジセダイ シリコン キバン チュウ ノ ビショウ ケッカン ノ コウガクテキ ヒハカイ ケンシュツホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 山田, 正良, 京都工芸繊維大学
• 著者標目: 山田, 正良 ヤマダ, マサヨシ
• 出版年月日等: 1998-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: シリコン シリコン; 非破壊評価 ヒハカイヒヨウカ; 結晶欠陥 ケツシヨウケツカン; 画像処理 ガゾウシヨリ; 赤外偏光顕微鏡 セキガイヘンコウケンビキヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10450008
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10450008
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007077158; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077158
• 整理区分コード: 214