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次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究

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次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10450008
国立国会図書館書誌ID
000007077158
資料種別
図書
著者
山田, 正良, 京都工芸繊維大学
出版者
-
出版年
1998-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究
タイトルよみ
ジセダイ シリコン キバン チュウ ノ ビショウ ケッカン ノ コウガクテキ ヒハカイ ケンシュツホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
山田, 正良, 京都工芸繊維大学
著者標目
山田, 正良 ヤマダ, マサヨシ
出版年月日等
1998-2001
出版年（W3CDTF）
1998
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコン シリコン
非破壊評価 ヒハカイヒヨウカ
結晶欠陥 ケツシヨウケツカン
画像処理 ガゾウシヨリ
赤外偏光顕微鏡 セキガイヘンコウケンビキヨウ