次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究
Title Transcription: ジセダイシリコンキバンチュウノビショウケッカンノコウガクテキヒハカイケンシュツホウノケンキュウ
Author/Editor: 山田, 正良, 京都工芸繊維大学
Author Heading: 山田, 正良ヤマダ, マサヨシ
Publication Date: 1998-2001
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: シリコンシリコン
非破壊評価ヒハカイヒヨウカ
結晶欠陥ケツシヨウケツカン
画像処理ガゾウシヨリ
赤外偏光顕微鏡セキガイヘンコウケンビキヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10450008
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10450008
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007077158
http://id.ndl.go.jp/bib/000007077158
Bibliographic Record Category (NDL): 214