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イオン衝撃を用いた高繰り返し二次電子銃の開発とその応用

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イオン衝撃を用いた高繰り返し二次電子銃の開発とその応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555088
国立国会図書館書誌ID
000007077321
資料種別
図書
著者
堀田, 栄喜, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
イオン ショウゲキ オ モチイタ コウクリカエシ ニジ デンシジュウ ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
著者・編者
堀田, 栄喜, 東京工業大学
著者標目
堀田, 栄喜 ホッタ, エイキ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
ワイヤ・イオン・プラズマ源 ワイヤ・イオン・プラズマゲン
イオン衝撃 イオンシヨウゲキ
二次電子 ニジデンシ
電子ビーム デンシビーム
気体処理 キタイシヨリ