イオン衝撃を用いた高繰り返し二次電子銃の開発とその応用

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Material Type: 図書
Title: イオン衝撃を用いた高繰り返し二次電子銃の開発とその応用
Title Transcription: イオンショウゲキオモチイタコウクリカエシニジデンシジュウノカイハツトソノオウヨウ
Author/Editor: 堀田, 栄喜, 東京工業大学
Author Heading: 堀田, 栄喜ホッタ, エイキ
Publication Date: 1998-2000
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: ワイヤ・イオン・プラズマ源ワイヤ・イオン・プラズマゲン
イオン衝撃イオンシヨウゲキ
二次電子ニジデンシ
電子ビームデンシビーム
気体処理キタイシヨリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555088
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10555088
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007077321
http://id.ndl.go.jp/bib/000007077321
Bibliographic Record Category (NDL): 214