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ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化

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ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555243
国立国会図書館書誌ID
000007077336
資料種別
図書
著者
光田, 好孝, 東京大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ダイヤモンドマク ノ ニ ダンカイ CVD セイチョウホウ ニ ヨル セッサク コウグ ノ コウシンライカ
著者・編者
光田, 好孝, 東京大学
著者標目
光田, 好孝 ミツダ, ヨシタカ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
ダイヤモンド ダイヤモンド
CVD CVD
切削工具 セツサクコウグ
二段階成長 2ダンカイセイチヨウ
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
高信頼性 コウシンライセイ
超硬基盤材料 チヨウコウキバンザイリヨウ
密着性 ミツチヤクセイ