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ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化

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ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化

Call No. (NDL)
Y151-H10555243
Bibliographic ID of National Diet Library
000007077336
Material type
図書
Author
光田, 好孝, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ダイヤモンドマク ノ ニ ダンカイ CVD セイチョウホウ ニ ヨル セッサク コウグ ノ コウシンライカ
Author/Editor
光田, 好孝, 東京大学
Author Heading
光田, 好孝 ミツダ, ヨシタカ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
ダイヤモンド ダイヤモンド
CVD CVD
切削工具 セツサクコウグ
二段階成長 2ダンカイセイチヨウ
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
高信頼性 コウシンライセイ
超硬基盤材料 チヨウコウキバンザイリヨウ
密着性 ミツチヤクセイ