金属細線上へのラテラル成長化合物半導体の結晶性向上に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 金属細線上へのラテラル成長化合物半導体の結晶性向上に関する研究
• タイトルよみ: キンゾクサイセンジョウ ヘ ノ ラテラル セイチョウ カゴウブツ ハンドウタイ ノ ケッショウ セイコウ ジョウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 宮本, 恭幸, 東京工業大学
• 著者標目: 著者 ： 宮本, 恭幸 ミヤモト, ヤスユキ ( 01156676 )典拠
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: タングステン細線埋込 タングステンサイセンウメコミ; InP MOVPE INPMOVPE; タングステンRIE タングステンRIE; ヘテロ接合バイポーラトランジスタ ヘテロセツゴウバイポーラトランジスタ; ラテラル成長 ラテラルセイチヨウ; タングステン抵抗評価 タングステンテイコウヒヨウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11450006
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11450006
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007077635; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077635
• 整理区分コード: 214