金属細線上へのラテラル成長化合物半導体の結晶性向上に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 金属細線上へのラテラル成長化合物半導体の結晶性向上に関する研究
• Title Transcription: キンゾクサイセンジョウ ヘ ノ ラテラル セイチョウ カゴウブツ ハンドウタイ ノ ケッショウ セイコウ ジョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 宮本, 恭幸, 東京工業大学
• Author Heading: 著者 ： 宮本, 恭幸 ミヤモト, ヤスユキ ( 01156676 )Authorities
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: タングステン細線埋込 タングステンサイセンウメコミ; InP MOVPE INPMOVPE; タングステンRIE タングステンRIE; ヘテロ接合バイポーラトランジスタ ヘテロセツゴウバイポーラトランジスタ; ラテラル成長 ラテラルセイチヨウ; タングステン抵抗評価 タングステンテイコウヒヨウカ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450006
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11450006
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007077635; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077635
• Bibliographic Record Category (NDL): 214