シリコン基板上3C-SiC薄膜の低温成長

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン基板上3C-SiC薄膜の低温成長
• タイトルよみ: シリコン キバン ジョウ 3C-SiC ハクマク ノ テイオン セイチョウ
• 著者・編者: 宮里, 達郎, 九州工業大学
• 著者標目: 宮里, 達郎 ミヤサト, タツロウ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 炭化珪素 タンカケイソ; 水素プラズマ スイソプラズマ; プラズマスパツタリング プラズマスパツタリング; 低温成長 テイオンセイチヨウ; 成長初期段階 セイチヨウシヨキダンカイ; 活性化エネルギー カツセイカエネルギー; シリコン基板 シリコンキバン; 格子不整合 コウシフセイゴウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11450127
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11450127
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007077682; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077682
• 整理区分コード: 214