シリコン基板上3C-SiC薄膜の低温成長

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Material Type: 図書
Title: シリコン基板上3C-SiC薄膜の低温成長
Title Transcription: シリコンキバンジョウ 3C-SiC ハクマクノテイオンセイチョウ
Author/Editor: 宮里, 達郎, 九州工業大学
Author Heading: 宮里, 達郎ミヤサト, タツロウ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 炭化珪素タンカケイソ
水素プラズマスイソプラズマ
プラズマスパツタリングプラズマスパツタリング
低温成長テイオンセイチヨウ
成長初期段階セイチヨウシヨキダンカイ
活性化エネルギーカツセイカエネルギー
シリコン基板シリコンキバン
格子不整合コウシフセイゴウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450127
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11450127
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007077682
http://id.ndl.go.jp/bib/000007077682
Bibliographic Record Category (NDL): 214