図書

イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成

図書を表すアイコン

イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650716
国立国会図書館書誌ID
000007077995
資料種別
図書
著者
井出, 敞, 愛媛大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
イオンビーム ・ プラズマ エンヨウ チョウビリュウシ カソク ショウゲキホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウマク ノ ケイセイ
著者・編者
井出, 敞, 愛媛大学
著者標目
井出, 敞 イデ, タカシ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
DLC膜 DLCマク
炭素超微粒子 タンソチヨウビリユウシ
静電加速法 セイデンカソクホウ
高周波プラズマ援用 コウシユウハプラズマエンヨウ
磁場援用 ジバエンヨウ
イオンエツチング効果 イオンエツチングコウカ
超微粒子分散 チヨウビリユウシブンサン
超微粒子供給 チヨウビリユウシキヨウキユウ