イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成

• Material Type: 図書
• Title: イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成
• Title Transcription: イオンビーム ・ プラズマ エンヨウ チョウビリュウシ カソク ショウゲキホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウマク ノ ケイセイ
• Author/Editor: 井出, 敞, 愛媛大学
• Author Heading: 井出, 敞 イデ, タカシ
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: DLC膜 DLCマク; 炭素超微粒子 タンソチヨウビリユウシ; 静電加速法 セイデンカソクホウ; 高周波プラズマ援用 コウシユウハプラズマエンヨウ; 磁場援用 ジバエンヨウ; イオンエツチング効果 イオンエツチングコウカ; 超微粒子分散 チヨウビリユウシブンサン; 超微粒子供給 チヨウビリユウシキヨウキユウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650716
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12650716
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007077995; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077995
• Bibliographic Record Category (NDL): 214