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プラズマイマーシヨンイオンプロセシング(PIIP)による材料表面処理の基礎研究

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プラズマイマーシヨンイオンプロセシング(PIIP)による材料表面処理の基礎研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12680470
国立国会図書館書誌ID
000007079859
資料種別
図書
著者
藤原, 民也, 岩手大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラズマイマーシヨンイオンプロセシング(PIIP) ニ ヨル ザイリョウ ヒョウメン ショリ ノ キソ ケンキュウ
著者・編者
藤原, 民也, 岩手大学
著者標目
藤原, 民也 フジワラ, タミヤ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
PBII PBII
PIIP PIIP
グロー放電 グローホウデン
パルスパワー パルスパワー
イオン注入 イオンチユウニユウ
表面処理 ヒヨウメンシヨリ
パルス放電 パルスホウデン
フラツクス フラツクス