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プラズマイマーシヨンイオンプロセシング(PIIP)による材料表面処理の基礎研究

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プラズマイマーシヨンイオンプロセシング(PIIP)による材料表面処理の基礎研究

Call No. (NDL)
Y151-H12680470
Bibliographic ID of National Diet Library
000007079859
Material type
図書
Author
藤原, 民也, 岩手大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プラズマイマーシヨンイオンプロセシング(PIIP) ニ ヨル ザイリョウ ヒョウメン ショリ ノ キソ ケンキュウ
Author/Editor
藤原, 民也, 岩手大学
Author Heading
藤原, 民也 フジワラ, タミヤ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
PBII PBII
PIIP PIIP
グロー放電 グローホウデン
パルスパワー パルスパワー
イオン注入 イオンチユウニユウ
表面処理 ヒヨウメンシヨリ
パルス放電 パルスホウデン
フラツクス フラツクス