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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ホロージョウ ジカ プラズマ ナイブ ヘ ノ フイオン チクセキ カテイ ノ カイメイ
- 著者・編者
- 三重野, 哲, 静岡大学
- 著者標目
- 三重野, 哲 ミエノ, テツ
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 反応性プラズマ ハンノウセイプラズマ負イオン蓄積 フイオンチクセキホロー状磁化プラズマ ホロージヨウジカプラズマ円筒状プラズマ エントウジヨウプラズマフツ化炭素 フツカタンソプラズマプロセツシング プラズマプロセツシング拡散係数 カクサンケイスウ負イオンビーム源 フイオンビームゲン