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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ホロージョウ ジカ プラズマ ナイブ ヘ ノ フイオン チクセキ カテイ ノ カイメイ
- Author/Editor
- 三重野, 哲, 静岡大学
- Author Heading
- 三重野, 哲 ミエノ, テツ
- Publication Date
- 2000-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 反応性プラズマ ハンノウセイプラズマ負イオン蓄積 フイオンチクセキホロー状磁化プラズマ ホロージヨウジカプラズマ円筒状プラズマ エントウジヨウプラズマフツ化炭素 フツカタンソプラズマプロセツシング プラズマプロセツシング拡散係数 カクサンケイスウ負イオンビーム源 フイオンビームゲン