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不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

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不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12838001
国立国会図書館書誌ID
000007080187
資料種別
図書
著者
平山, 昌樹, 東北大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
フキハツセイ メモリーヨウ コウヒンシツ STNO キョウ ユウデンタイマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
平山, 昌樹, 東北大学
著者標目
平山, 昌樹 ヒラヤマ, マサキ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
強誘電体 キヨウユウデンタイ
ゲート絶縁膜 ゲートゼツエンマク
LSI LSI
シリコン窒化膜 シリコンチツカマク
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
有機金属ガス ユウキキンゾクガス
パリア膜 パリアマク
酸素ラジカル サンソラジカル