気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

• 資料種別: 図書
• タイトル: 気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓
• タイトルよみ: キソウ フンイキ ニ オケル ハンドウタイ ヒョウメン プロセス ノ イオンビーム ソノ バ ケイソクホウ ノ カイタク
• 著者・編者: 尾浦, 憲治郎, 大阪大学
• 著者標目: 尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 気相雰囲気下半導体表面プロセス キソウフンイキカハンドウタイヒヨウメンプロセス; CAICISS CAICISS; TOF-ERDA TOF-ERDA; 表面水素 ヒヨウメンスイソ; 水素サーフアクタント効果 スイソサーフアクタントコウカ; イオンビームその場計測 イオンビームソノバケイソク; 気相成長 キソウセイチヨウ; ドライエツチング ドライエツチング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11305006
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11305006
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007080440; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080440
• 整理区分コード: 214