気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

• Material Type: 図書
• Title: 気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓
• Title Transcription: キソウ フンイキ ニ オケル ハンドウタイ ヒョウメン プロセス ノ イオンビーム ソノ バ ケイソクホウ ノ カイタク
• Author/Editor: 尾浦, 憲治郎, 大阪大学
• Author Heading: 尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 気相雰囲気下半導体表面プロセス キソウフンイキカハンドウタイヒヨウメンプロセス; CAICISS CAICISS; TOF-ERDA TOF-ERDA; 表面水素 ヒヨウメンスイソ; 水素サーフアクタント効果 スイソサーフアクタントコウカ; イオンビームその場計測 イオンビームソノバケイソク; 気相成長 キソウセイチヨウ; ドライエツチング ドライエツチング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11305006
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11305006
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007080440; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080440
• Bibliographic Record Category (NDL): 214