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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head
- 著者・編者
- 宮崎, 照宣, 東北大学
- 著者標目
- 宮崎, 照宣 ミヤザキ, テルノブ
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- スピントンネル磁気抵抗効果 スピントンネルジキテイコウコウカトンネル接合 トンネルセツゴウ再生磁気ヘツドデバイス サイセイジキヘツドデバイス微細加工 ビサイカコウアルゴンイオンミリング アルゴンイオンミリング電子線リソグラフイー デンシセンリソグラフイーラジカル酸化 ラジカルサンカ絶縁障壁 ゼツエンシヨウヘキ