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Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head : ハイブリツト磁性体の微細化プロセスとトンネル再生磁気ヘツドの作製

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Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head : ハイブリツト磁性体の微細化プロセスとトンネル再生磁気ヘツドの作製

Call No. (NDL)
Y151-H11355001
Bibliographic ID of National Diet Library
000007080546
Material type
図書
Author
宮崎, 照宣, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head
Author/Editor
宮崎, 照宣, 東北大学
Author Heading
宮崎, 照宣 ミヤザキ, テルノブ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
スピントンネル磁気抵抗効果 スピントンネルジキテイコウコウカ
トンネル接合 トンネルセツゴウ
再生磁気ヘツドデバイス サイセイジキヘツドデバイス
微細加工 ビサイカコウ
アルゴンイオンミリング アルゴンイオンミリング
電子線リソグラフイー デンシセンリソグラフイー
ラジカル酸化 ラジカルサンカ
絶縁障壁 ゼツエンシヨウヘキ