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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head
- Author/Editor
- 宮崎, 照宣, 東北大学
- Author Heading
- 宮崎, 照宣 ミヤザキ, テルノブ
- Publication Date
- 1999-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- スピントンネル磁気抵抗効果 スピントンネルジキテイコウコウカトンネル接合 トンネルセツゴウ再生磁気ヘツドデバイス サイセイジキヘツドデバイス微細加工 ビサイカコウアルゴンイオンミリング アルゴンイオンミリング電子線リソグラフイー デンシセンリソグラフイーラジカル酸化 ラジカルサンカ絶縁障壁 ゼツエンシヨウヘキ