新規な界面反応・界面化合物を用いる半導体デバイス

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新規な界面反応・界面化合物を用いる半導体デバイス
• タイトルよみ: シンキ ナ カイメン ハンノウ ・ カイメン カゴウブツ オ モチイル ハンドウタイ デバイス
• 著者・編者: 小林, 光, 大阪大学
• 著者標目: 小林, 光 コバヤシ, ヒカル
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 界面準位 カイメンジユンイ; 欠陥準位 ケツカンジユンイ; シアン処理 シアンシヨリ; MOS MOS; SiO2 SIO2; リーク電流 リークデンリユウ; Si-CN結合 SI-CNケツゴウ; 白金触媒 ハツキンシヨクバイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11355003
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11355003
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007080547; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080547
• 整理区分コード: 214