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新規な界面反応・界面化合物を用いる半導体デバイス

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新規な界面反応・界面化合物を用いる半導体デバイス

Call No. (NDL)
Y151-H11355003
Bibliographic ID of National Diet Library
000007080547
Material type
図書
Author
小林, 光, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シンキ ナ カイメン ハンノウ ・ カイメン カゴウブツ オ モチイル ハンドウタイ デバイス
Author/Editor
小林, 光, 大阪大学
Author Heading
小林, 光 コバヤシ, ヒカル
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
界面準位 カイメンジユンイ
欠陥準位 ケツカンジユンイ
シアン処理 シアンシヨリ
MOS MOS
SiO2 SIO2
リーク電流 リークデンリユウ
Si-CN結合 SI-CNケツゴウ
白金触媒 ハツキンシヨクバイ