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量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用

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量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H11355014
国立国会図書館書誌ID
000007080550
資料種別
図書
著者
小田, 俊理, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
リョウシカ ザイリョウ ネオシリコン ノ カイハツ ト タンデンシ デバイス オウヨウ
著者・編者
小田, 俊理, 東京工業大学
著者標目
著者 : 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )典拠
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
ナノ結晶シリコン ナノケツシヨウシリコン
パルスプラズマプロセス パルスプラズマプロセス
シリコン表面 シリコンヒヨウメン
微細加工プロセス ビサイカコウプロセス
単電子トンネル タンデンシトンネル
量子ドツト相関 リヨウシドツトソウカン
単電子メモリ タンデンシメモリ
バリステイツク伝導 バリステイツクデンドウ