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量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用

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量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用

Call No. (NDL)
Y151-H11355014
Bibliographic ID of National Diet Library
000007080550
Material type
図書
Author
小田, 俊理, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
リョウシカ ザイリョウ ネオシリコン ノ カイハツ ト タンデンシ デバイス オウヨウ
Author/Editor
小田, 俊理, 東京工業大学
Author Heading
著者 : 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
ナノ結晶シリコン ナノケツシヨウシリコン
パルスプラズマプロセス パルスプラズマプロセス
シリコン表面 シリコンヒヨウメン
微細加工プロセス ビサイカコウプロセス
単電子トンネル タンデンシトンネル
量子ドツト相関 リヨウシドツトソウカン
単電子メモリ タンデンシメモリ
バリステイツク伝導 バリステイツクデンドウ