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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ロボツト ノ ユビ カンセツヨウ オヨビ セイミツ キキヨウ マイクロ カイテン エンコーダ ノ シサク
- 著者・編者
- 羽根, 一博, 東北大学
- 著者標目
- 著者 ： 羽根, 一博, 1955- ハネ, カズヒロ, 1955- ( 00901248 )典拠
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- ロータリーエンコーダ ロータリーエンコーダロボツト用エンコーダ ロボツトヨウエンコーダ非平面リソグラフイ ヒヘイメンリソグラフイ光リソグラフイ ヒカリリソグラフイ光エンコーダ ヒカリエンコーダ