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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ロボツト ノ ユビ カンセツヨウ オヨビ セイミツ キキヨウ マイクロ カイテン エンコーダ ノ シサク
- Author/Editor
- 羽根, 一博, 東北大学
- Author Heading
- 著者 : 羽根, 一博, 1955- ハネ, カズヒロ, 1955- ( 00901248 )Authorities
- Publication Date
- 1999-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- ロータリーエンコーダ ロータリーエンコーダロボツト用エンコーダ ロボツトヨウエンコーダ非平面リソグラフイ ヒヘイメンリソグラフイ光リソグラフイ ヒカリリソグラフイ光エンコーダ ヒカリエンコーダ