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レーザー照射/AFM加工/電気化学を用いる微細電子・機械デバイスの作製技術の開発

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レーザー照射/AFM加工/電気化学を用いる微細電子・機械デバイスの作製技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11355029
国立国会図書館書誌ID
000007080557
資料種別
図書
著者
高橋, 英明, 北海道大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
レーザー ショウシャ/AFM カコウ/デンキ カガク オ モチイル ビサイ デンシ ・ キカイ デバイス ノ サクセイ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
高橋, 英明, 北海道大学
著者標目
高橋, 英明 タカハシ, ヒデアキ
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
アルミニウム アルミニウム
アノード酸化 アノードサンカ
レーザー照射 レーザーシヨウシヤ
AFM加工 AFMカコウ
プリント配線基板 プリントハイセンキバン
金型 カナガタ