レーザー照射/AFM加工/電気化学を用いる微細電子・機械デバイスの作製技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: レーザー照射/AFM加工/電気化学を用いる微細電子・機械デバイスの作製技術の開発
• Title Transcription: レーザー ショウシャ/AFM カコウ/デンキ カガク オ モチイル ビサイ デンシ ・ キカイ デバイス ノ サクセイ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 高橋, 英明, 北海道大学
• Author Heading: 高橋, 英明 タカハシ, ヒデアキ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: アルミニウム アルミニウム; アノード酸化 アノードサンカ; レーザー照射 レーザーシヨウシヤ; AFM加工 AFMカコウ; プリント配線基板 プリントハイセンキバン; 金型 カナガタ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11355029
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11355029
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007080557; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080557
• Bibliographic Record Category (NDL): 214