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シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

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シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H11555001
国立国会図書館書誌ID
000007080959
資料種別
図書
著者
村上, 浩一, 筑波大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコン チュウ ノ スイソ ノ セイミツ セイギョ ト ハクマク トランジスター ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
村上, 浩一, 筑波大学
著者標目
村上, 浩一 ムラカミ, コウイチ
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコン シリコン
水素 スイソ
水素分子 スイソブンシ
Si-H結合 SI-Hケツゴウ
ラマン散乱 ラマンサンラン
レーザーアニール レーザーアニール
ポリシリコン化 ポリシリコンカ
水素複合体中心 スイソフクゴウタイチユウシン