シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
• タイトルよみ: シリコン チュウ ノ スイソ ノ セイミツ セイギョ ト ハクマク トランジスター ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 村上, 浩一, 筑波大学
• 著者標目: 村上, 浩一 ムラカミ, コウイチ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: シリコン シリコン; 水素 スイソ; 水素分子 スイソブンシ; Si-H結合 SI-Hケツゴウ; ラマン散乱 ラマンサンラン; レーザーアニール レーザーアニール; ポリシリコン化 ポリシリコンカ; 水素複合体中心 スイソフクゴウタイチユウシン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11555001
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11555001
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007080959; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080959
• 整理区分コード: 214