シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

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Material Type: 図書
Title: シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
Title Transcription: シリコンチュウノスイソノセイミツセイギョトハクマクトランジスターヘノオウヨウ
Author/Editor: 村上, 浩一, 筑波大学
Author Heading: 村上, 浩一ムラカミ, コウイチ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: シリコンシリコン
水素スイソ
水素分子スイソブンシ
Si-H結合 SI-Hケツゴウ
ラマン散乱ラマンサンラン
レーザーアニールレーザーアニール
ポリシリコン化ポリシリコンカ
水素複合体中心スイソフクゴウタイチユウシン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555001
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11555001
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007080959
http://id.ndl.go.jp/bib/000007080959
Bibliographic Record Category (NDL): 214