ヘルプ
ヘルプ
図書

反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価

図書を表すアイコン

反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H11555036
国立国会図書館書誌ID
000007080971
資料種別
図書
著者
新津, 靖, 東京電機大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書店で探す

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
タイトル
反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価
タイトルよみ
ハンシャガタ ヘンコウ レーザ ケンビキョウ ノ カイハツ ト ウエハ ジョウ コウブンシ ヒマク ノ オウリョク ヒョウカ
著者・編者
新津, 靖, 東京電機大学
著者標目
新津, 靖 ニイツ, ヤスシ
出版年月日等
1999-2001
出版年（W3CDTF）
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
レーザー レーザー
反射型光弾性 ハンシヤガタコウダンセイ
皮膜応力 ヒマクオウリヨク
光弾性変調器 コウダンセイヘンチヨウキ