反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価

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Material Type: 図書
Title: 反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価
Title Transcription: ハンシャガタヘンコウレーザケンビキョウノカイハツトウエハジョウコウブンシヒマクノオウリョクヒョウカ
Author/Editor: 新津, 靖, 東京電機大学
Author Heading: 新津, 靖ニイツ, ヤスシ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: レーザーレーザー
反射型光弾性ハンシヤガタコウダンセイ
皮膜応力ヒマクオウリヨク
光弾性変調器コウダンセイヘンチヨウキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555036
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11555036
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007080971
http://id.ndl.go.jp/bib/000007080971
Bibliographic Record Category (NDL): 214