メサ側面再結合電流抑制による極微細GaInAs/InP HBTの超高速化

• 資料種別: 図書
• タイトル: メサ側面再結合電流抑制による極微細GaInAs/InP HBTの超高速化
• タイトルよみ: メサ ソクメン サイケツゴウ デンリュウ ヨクセイ ニ ヨル ゴク ビサイ GaInAs/InP HBT ノ チョウコウソクカ
• 著者・編者: 宮本, 恭幸, 東京工業大学
• 著者標目: 著者 ： 宮本, 恭幸 ミヤモト, ヤスユキ ( 01156676 )典拠
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: GaInAs/InP HBT GAINAS/INPHBT; ヘテロ接合バイポーラトランジスタ ヘテロセツゴウバイポーラトランジスタ; エミツタ微細化 エミツタビサイカ; 電子ビーム露光 デンシビームロコウ; アンダーカツトエツチング抑制 アンダーカツトエツチングヨクセイ; メサ側面形成 メサソクメンケイセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11555092
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11555092
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007080994; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080994
• 整理区分コード: 214