メサ側面再結合電流抑制による極微細GaInAs/InP HBTの超高速化

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Material Type: 図書
Title: メサ側面再結合電流抑制による極微細GaInAs/InP HBTの超高速化
Title Transcription: メサソクメンサイケツゴウデンリュウヨクセイニヨルゴクビサイ GaInAs/InP HBT ノチョウコウソクカ
Author/Editor: 宮本, 恭幸, 東京工業大学
Author Heading: 著者：宮本, 恭幸ミヤモト, ヤスユキ ( 01156676 )Authorities
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: GaInAs/InP HBT GAINAS/INPHBT
ヘテロ接合バイポーラトランジスタヘテロセツゴウバイポーラトランジスタ
エミツタ微細化エミツタビサイカ
電子ビーム露光デンシビームロコウ
アンダーカツトエツチング抑制アンダーカツトエツチングヨクセイ
メサ側面形成メサソクメンケイセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555092
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11555092
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007080994
http://id.ndl.go.jp/bib/000007080994
Bibliographic Record Category (NDL): 214