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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ULSI キョク ビサイ ・ コウアスペクトヒコウ ノ テイソンショウ ケイセイ ケンキュウ
- 著者・編者
- 堀池, 靖浩, 東京大学
- 著者標目
- 堀池, 靖浩 ホリイケ, ヤスヒロ
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- コンタクト孔底部損傷 コンタクトコウテイブソンシヨウフロロカーボン フロロカーボンドライエツチング ドライエツチング壁との相互作用 カベトノソウゴサヨウドライ洗浄 ドライセンジヨウ超高圧透過型電子顕微鏡 チヨウコウアツトウカガタデンシケンビキヨウビイア孔 ビイアコウCu配線 CUハイセン