ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究

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Material Type: 図書
Title: ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究
Title Transcription: ULSI キョクビサイ・コウアスペクトヒコウノテイソンショウケイセイケンキュウ
Author/Editor: 堀池, 靖浩, 東京大学
Author Heading: 堀池, 靖浩ホリイケ, ヤスヒロ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: コンタクト孔底部損傷コンタクトコウテイブソンシヨウ
フロロカーボンフロロカーボン
ドライエツチングドライエツチング
壁との相互作用カベトノソウゴサヨウ
ドライ洗浄ドライセンジヨウ
超高圧透過型電子顕微鏡チヨウコウアツトウカガタデンシケンビキヨウ
ビイア孔ビイアコウ
Cu配線 CUハイセン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555179
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11555179
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007081030
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081030
Bibliographic Record Category (NDL): 214