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アークプラズマCVD法によるタンタル超微粉末の新製造プロセスの開発

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アークプラズマCVD法によるタンタル超微粉末の新製造プロセスの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11555190
国立国会図書館書誌ID
000007081035
資料種別
図書
著者
嶋影, 和宜, 室蘭工業大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アークプラズマ CVD ホウ ニ ヨル タンタル チョウビフンマツ ノ シン セイゾウ プロセス ノ カイハツ
著者・編者
嶋影, 和宜, 室蘭工業大学
著者標目
嶋影, 和宜 シマカゲ, カズヨシ
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
金属熱還元法 キンゾクネツカンゲンホウ
酸化タンタル サンカタンタル
Mg還元 MGカンゲン
タンタル粉末 タンタルフンマツ
粒度分布、 リユウドブンプ、
比表面積、 ヒヒヨウメンセキ、
合成プロセス ゴウセイプロセス
コンデンサー コンデンサー