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アークプラズマCVD法によるタンタル超微粉末の新製造プロセスの開発

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アークプラズマCVD法によるタンタル超微粉末の新製造プロセスの開発

Call No. (NDL)
Y151-H11555190
Bibliographic ID of National Diet Library
000007081035
Material type
図書
Author
嶋影, 和宜, 室蘭工業大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
アークプラズマ CVD ホウ ニ ヨル タンタル チョウビフンマツ ノ シン セイゾウ プロセス ノ カイハツ
Author/Editor
嶋影, 和宜, 室蘭工業大学
Author Heading
嶋影, 和宜 シマカゲ, カズヨシ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
金属熱還元法 キンゾクネツカンゲンホウ
酸化タンタル サンカタンタル
Mg還元 MGカンゲン
タンタル粉末 タンタルフンマツ
粒度分布、 リユウドブンプ、
比表面積、 ヒヒヨウメンセキ、
合成プロセス ゴウセイプロセス
コンデンサー コンデンサー