高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発
• タイトルよみ: コウシュウセキ ツウシン システム セイサク ノ タメ ノ SiGe ケイ MOS-HBT ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 室田, 淳一, 東北大学
• 著者標目: 室田, 淳一 ムロタ, ジュンイチ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: SiGe SIGE; MOS MOS; HBT HBT; CVD低温選択成長 CVDテイオンセンタクセイチヨウ; in-situ不純物ドーピング IN-SITUフジユンブツドーピング; SiGeC SIGEC; 不純物拡散 フジユンブツカクサン; 高選択異方性エツチング コウセンタクイホウセイエツチング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11694123
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11694123
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007081422; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081422
• 整理区分コード: 214