高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発
Title Transcription: コウシュウセキツウシンシステムセイサクノタメノ SiGe ケイ MOS-HBT ギジュツノカイハツ
Author/Editor: 室田, 淳一, 東北大学
Author Heading: 室田, 淳一ムロタ, ジュンイチ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: SiGe SIGE
MOS MOS
HBT HBT
CVD低温選択成長 CVDテイオンセンタクセイチヨウ
in-situ不純物ドーピング IN-SITUフジユンブツドーピング
SiGeC SIGEC
不純物拡散フジユンブツカクサン
高選択異方性エツチングコウセンタクイホウセイエツチング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11694123
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11694123
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007081422
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081422
Bibliographic Record Category (NDL): 214