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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハンドウタイ プロセス オセン フジュンブツ ゲンソ ノ チョウコウカンド ブンセキ
- 著者・編者
- 高井, 幹夫, 大阪大学
- 著者標目
- 高井, 幹夫 タカイ, ミキオ
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- 超先端高密度集積回路素子 チヨウセンタンコウミツドシユウセキカイロソシ極微量プロセス汚染元素 キヨクビリヨウプロセスオセンゲンソイオンプローブ イオンプローブ超高感度局所分析技術 チヨウコウカンドキヨクシヨブンセキギジユツ汚染分析技術 オセンブンセキギジユツ汚染重金属元素 オセンジユウキンゾクゲンソTOF-RBS分析技術 TOF-RBSブンセキギジユツ電界放出電子源 デンカイホウシユツデンシゲン