半導体プロセス汚染不純物元素の超高感度分析

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Material Type: 図書
Title: 半導体プロセス汚染不純物元素の超高感度分析
Title Transcription: ハンドウタイプロセスオセンフジュンブツゲンソノチョウコウカンドブンセキ
Author/Editor: 高井, 幹夫, 大阪大学
Author Heading: 高井, 幹夫タカイ, ミキオ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 超先端高密度集積回路素子チヨウセンタンコウミツドシユウセキカイロソシ
極微量プロセス汚染元素キヨクビリヨウプロセスオセンゲンソ
イオンプローブイオンプローブ
超高感度局所分析技術チヨウコウカンドキヨクシヨブンセキギジユツ
汚染分析技術オセンブンセキギジユツ
汚染重金属元素オセンジユウキンゾクゲンソ
TOF-RBS分析技術 TOF-RBSブンセキギジユツ
電界放出電子源デンカイホウシユツデンシゲン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11694157
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11694157
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007081441
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081441
Bibliographic Record Category (NDL): 214