半導体プロセス汚染不純物元素の超高感度分析

• Material Type: 図書
• Title: 半導体プロセス汚染不純物元素の超高感度分析
• Title Transcription: ハンドウタイ プロセス オセン フジュンブツ ゲンソ ノ チョウコウカンド ブンセキ
• Author/Editor: 高井, 幹夫, 大阪大学
• Author Heading: 高井, 幹夫 タカイ, ミキオ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 超先端高密度集積回路素子 チヨウセンタンコウミツドシユウセキカイロソシ; 極微量プロセス汚染元素 キヨクビリヨウプロセスオセンゲンソ; イオンプローブ イオンプローブ; 超高感度局所分析技術 チヨウコウカンドキヨクシヨブンセキギジユツ; 汚染分析技術 オセンブンセキギジユツ; 汚染重金属元素 オセンジユウキンゾクゲンソ; TOF-RBS分析技術 TOF-RBSブンセキギジユツ; 電界放出電子源 デンカイホウシユツデンシゲン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11694157
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11694157
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007081441; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081441
• Bibliographic Record Category (NDL): 214