気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
• タイトルよみ: キタイ ブンリ ハイセン コウゾウ オ ユウスル Ta ゲート キンゾク キバン SOI チョウコウソク チョウビサイ LSI ノ カイハツ
• 著者・編者: 大見, 忠弘, 東北大学
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: LSI LSI; SOI SOI; 気体分離配線 キタイブンリハイセン; BPSG BPSG; 無水HF ムスイHF; 銅配線 ドウハイセン; 金属基板 キンゾクキバン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12305020
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12305020
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007081641; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081641
• 整理区分コード: 214