気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

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Material Type: 図書
Title: 気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
Title Transcription: キタイブンリハイセンコウゾウオユウスル Ta ゲートキンゾクキバン SOI チョウコウソクチョウビサイ LSI ノカイハツ
Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
Author Heading: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: LSI LSI
SOI SOI
気体分離配線キタイブンリハイセン
BPSG BPSG
無水HF ムスイHF
銅配線ドウハイセン
金属基板キンゾクキバン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12305020
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12305020
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007081641
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081641
Bibliographic Record Category (NDL): 214