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高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究

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高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12450056
国立国会図書館書誌ID
000007081784
資料種別
図書
著者
新野, 秀憲, 東京工業大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウイキ ドウテキ トクセイ オ ユウスル チョウセイミツ ・ コウソク イチギメ テーブル システム ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
新野, 秀憲, 東京工業大学
著者標目
著者 : 新野, 秀憲 シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )典拠
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
テーブルシステム テーブルシステム
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
リニアモータ リニアモータ
工作機械 コウサクキカイ
半導体製造装置 ハンドウタイセイゾウソウチ
ER流体 ERリユウタイ
減衰特性 ゲンスイトクセイ
熱特性 ネツトクセイ