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高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究

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高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H12450056
Bibliographic ID of National Diet Library
000007081784
Material type
図書
Author
新野, 秀憲, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウイキ ドウテキ トクセイ オ ユウスル チョウセイミツ ・ コウソク イチギメ テーブル システム ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
新野, 秀憲, 東京工業大学
Author Heading
著者 : 新野, 秀憲 シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )Authorities
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
テーブルシステム テーブルシステム
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
リニアモータ リニアモータ
工作機械 コウサクキカイ
半導体製造装置 ハンドウタイセイゾウソウチ
ER流体 ERリユウタイ
減衰特性 ゲンスイトクセイ
熱特性 ネツトクセイ