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Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン

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Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン

国立国会図書館請求記号
Y151-H12450129
国立国会図書館書誌ID
000007081810
資料種別
図書
著者
山崎, 二郎, 九州工業大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Al ノ ヨウキョク サンカ ヒマク オ リヨウ スル ジセイタイ ノ チョウコウアスペクトヒ ビサイ カコウ ト ジキ マイクロマシン
著者・編者
山崎, 二郎, 九州工業大学
著者標目
山崎, 二郎 ヤマサキ, ジロウ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
陽極酸化 ヨウキヨクサンカ
高アスペクト比 コウアスペクトヒ
微細加工 ビサイカコウ
磁歪 ジワイ
マイクロモータ マイクロモータ
磁気マイクロマシン ジキマイクロマシン